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鎢燈絲掃描電子顯微鏡是一種常用的電子顯微鏡。它利用鎢燈絲作為電子源，產生高能電子束并將其聚焦到樣品表面，然后通過掃描電子束和樣品之間的相互作用，獲取樣品表面的圖像。
蔡司鎢燈絲掃描電鏡利用鎢燈絲產生的熱電子來形成電子束。這個電子束被聚焦并加速，然后通過一系列的透鏡系統來控制和聚束。電子束掃描樣品表面，并與樣品相互作用。與樣品交互作用的電子會產生多種信號，包括二次電子、反射電子、散射電子等。這些信號被探測器捕捉，并轉化為圖像。
